微細粒子POWDER捕集技術

• 登録番号:
• 取引条件: 技術導入、技術指導
• 登録年度: 2018

□　企業概要

　　主な生産品：半導体関連装備製造、Scrubber, Chiller

□　導入希望技術
　　
　　微細粒子POWDER捕集技術

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9.半導体製造工程で発生する配管内微細粒子Powderの捕獲技術.pdf(192.8KB)