静電チャック(ESC)関連セラミック表面精密研磨及びセラミック・ボンディング材関連技術

  • 登録番号:
  • 取引条件: 技術導入、技術指導
  • 登録年度: 2018

□ 企業概要

主な生産品:静電チャック関連

□ 導入希望技術  静電チャック関連セラミック表面精密研磨およびセラミック・ボンディング材関連技術

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8.ESC関連セラミック表面精密研磨及びセラミックボンディン材関連技術.pdf(348.6KB)